矽晶圓半導體材料技術 (第5版)

矽晶圓半導體材料技術 (第5版)

作者:林明獻, 出版社: , 出版日期:2019-10-15

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商品條碼:9789865032425, ISBN:9865032422
分類標籤:電子 » 專業/教科書/政府出版品 » 電機資訊類

 

內容簡介

矽晶圓半導體材料技術 (第5版)
1.本書為國內第一本介紹矽晶圓材料的專業參考書籍。
2.本書詳細介紹矽晶的基本性質,矽晶圓材料的製造流程、矽晶圓缺陷控制以及矽晶圓性質檢測等單元,是一本從事半導體領域之學術研究與工程人員必備的專業書籍。
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