薄膜科技與應用(第四版)

薄膜科技與應用(第四版)

作者:羅吉宗, 出版社:全華圖書股份有限公司, 出版日期:2013-03-18

商品條碼:9789572188774, ISBN:9572188771
分類標籤:中文書 » 教育 » 高等教育 » 電子工程 » 電子類

 

內容簡介

薄膜科技與應用(第四版)
薄膜技術的進展和表面界面物理導入,使電子元件實現了輕薄短小,且有效控制半導體材料和固態元件之品質。坊間有多種薄膜技術叢書,但多僅闡述製作技術。本書將引導對薄膜有興趣者認識真空、電漿、長膜機制,製作高品質薄膜的要件,薄膜品質之鑑定和薄膜製作技術如何改善電子元件功能等。本書前四章介紹薄膜沉積所用到的真空、電漿、熱力、動力等薄膜生長機制;第五、六章介紹高品質薄膜對元件電性之影響;第七、八章說明量測薄膜特性之技術與原理。是一本適合大學、科大機械、電機、化工、材料系三、四年級「薄膜技術」、「薄膜工程」課程使用,也適合從事微電子技術之產業界的專業人員使用。
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