薄膜科技與應用

薄膜科技與應用

作者:羅吉宗, 出版社:全華圖書, 出版日期:2009-03-24

商品條碼:9789572170717, ISBN:9572170716
分類標籤:中文書 » 教育 » 高等教育 » 電子工程 » 金屬工藝

 

內容簡介

薄膜科技與應用
薄膜技術的進展和表面界面物理導入,使電子元件實現了輕薄短小,且有效控制半導體材料和固態元件之品質。坊間有多種薄膜技術叢書,但多僅闡述製作技術。本書將引導對薄膜有興趣者認識真空、電漿、長膜機制,製作高品質薄膜的要件,薄膜品質之鑑定和薄膜製作技術如何改善電子元件功能等。本書前四章介紹薄膜沉積所用到的真空、電漿、熱力、動力等薄膜生長機制;第五、六章介紹高品質薄膜對元件電性之影響;第七、八章說明量測薄膜特性之技術與原理。

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