半導體奈米技術

半導體奈米技術

作者:龍文安, 出版社:五南, 出版日期:2006-09-26

定價 1200 元, 最低 1080 元起... 建宏書局 完整列出比價資訊...

商品條碼:9789571144931, ISBN:9571144932
分類標籤:中文書 » 生活 » 其他 » 教育 » 應用科學

 

內容簡介

半導體奈米技術
半導體製程已進入奈米線幅,而廣義微影技術為半導體製程之核心,惜國內尚無中文微影技術專書,因此決定教研之餘撰寫本書,以彌補此缺憾與空白,並為推動科技中文化,略盡個人棉薄。
本書重點在微影技術原理與概念之說明,而不在生產線上實務細節之描述。內容包括微影技術全部重要內涵,例如微影製程、微影光學、主要微影方法、其他微影方法、圖罩與圖規、阻劑、解像度增進技術、銅互連線、化學機械研磨、電漿蝕刻與光學微影模擬。基於多年在交通大學應用化學研究所之教學經驗,本書亦包含瞭解微影技術必要之矽製程背景知識與基礎光學。
末來數年,半導體量產線幅當推進至45-32-22奈米技術節點,光學微影製程之難度日益增加,對製程工程師之挑戰亦日益升高。本書對相關領域讀者應有所助益與參閱價值。
商品簡介由 建宏書局 所提供

相關書籍